Как Китай построил свой «Манхэттенский проект», чтобы конкурировать с Западом в области чипов искусственного интеллекта

В лаборатории с высоким уровнем безопасности в Шэньчжэне китайские ученые создали то, чему Вашингтон годами пытался предотвратить: прототип машины, способной производить передовые полупроводниковые чипы, питающие искусственный интеллект, смартфоны и оружие, что является ключевым фактором военного доминирования Запада.

Завершенный в начале 2025 года и сейчас проходящий испытания, прототип занимает почти весь заводской цех. Его создала команда бывших инженеров голландского полупроводникового гиганта ASML (ASML.AS), которая провела обратную разработку машин для литографии в экстремальном ультрафиолетовом излучении (EUV) компании.

Машины EUV находятся в центре технологической холодной войны. Они используют лучи чрезвычайно сильного ультрафиолетового света для травления схем, более тонких, чем человеческий волос, на кремниевых пластинах, что в настоящее время является монополией Запада. Чем меньше схемы, тем мощнее чипы.

Китайская машина работает и успешно генерирует экстремальное ультрафиолетовое излучение, но еще не произвела рабочие чипы.

В апреле генеральный директор ASML Кристоф Фуке заявил, что Китаю понадобится «много-много лет», чтобы разработать такую технологию. Но существование этого прототипа свидетельствует о том, что Китай может быть на годы ближе к достижению независимости от полупроводников, чем ожидали аналитики.

Тем не менее, Китай все еще сталкивается с серьезными техническими трудностями, особенно в воспроизведении прецизионных оптических систем, которые производят западные поставщики.

По словам двух источников, наличие деталей от старых машин ASML на вторичных рынках позволило Китаю создать отечественный прототип, а правительство поставило цель выпустить рабочие чипы на основе прототипа к 2028 году. Но те, кто близок к проекту, говорят, что более реалистичной целью является 2030 год, что все еще на годы раньше, чем десятилетие, которое, как считали аналитики, понадобится Китаю, чтобы сравняться с Западом по количеству чипов.

Этот прорыв знаменует собой кульминацию шестилетней правительственной инициативы по достижению самообеспеченности полупроводниками, одного из главных приоритетов президента Си Цзиньпина. Хотя цели Китая в отношении полупроводников были публичными, проект EUV в Шэньчжэне проводился в тайне. Этот проект входит в стратегию страны в отношении полупроводников, которую, по данным государственных СМИ, возглавляет доверенное лицо Си Цзиньпина Дин Сюэсян, который возглавляет Центральную комиссию по вопросам науки и технологий Коммунистической партии.

Китайский гигант электроники Huawei играет ключевую роль в координации сети компаний и государственных исследовательских институтов по всей стране, в которую привлекаются тысячи инженеров, сообщают два источника и третий. Люди описывали это как китайскую версию Манхэттенского проекта — военных усилий США по разработке атомной бомбы.

«Цель состоит в том, чтобы Китай в конечном итоге смог производить передовые чипы на машинах, полностью произведенных в Китае», — сказал один из источников. «Китай хочет, чтобы Соединенные Штаты были на 100% исключены из его цепочек поставок».

До сих пор только одна компания освоила технологию EUV: ASML со штаб-квартирой в Велдховене, Нидерланды. Ее оборудование, стоимость которого составляет около 250 миллионов долларов, незаменимо для производства самых современных чипов, разработанных такими компаниями, как Nvidia и AMD, и производимых такими производителями, как TSMC, Intel и Samsung.

ASML создала свой первый рабочий прототип технологии EUV в 2001 году, что потребовало почти двух десятилетий и миллиардов евро затрат на исследования и разработки, прежде чем она выпустила свои первые коммерчески доступные чипы в 2019 году.

Начиная с 2018 года, Соединенные Штаты начали оказывать давление на Нидерланды, чтобы они запретили ASML продавать Китаю системы EUV. Ограничения усилились в 2022 году, когда администрация Байдена ввела масштабный экспортный контроль, направленный на то, чтобы ограничить доступ Китая к передовым полупроводниковым технологиям. ASML сообщила, что ни одна система EUV никогда не была продана клиенту в Китае.

Контрольные меры были направлены не только на системы EUV, но и на более старые машины для литографии глубокого ультрафиолета (DUV), которые производят менее совершенные чипы, такие как Huawei, с целью удержать Китай как минимум на одно поколение позади в производстве чипов.

Государственный департамент США заявил, что администрация Трампа усилила контроль за экспортом передового оборудования для производства полупроводников и работает с партнерами, чтобы «устранить лазейки по мере развития технологий». Министерство обороны Нидерландов заявило, что Нидерланды разрабатывают политику, которая требует от «институтов знаний» проводить проверку персонала, чтобы предотвратить доступ к конфиденциальным технологиям «лиц, имеющих злые намерения или на которых оказывается давление».

Китайский Манхэттенский проект

Один опытный китайский инженер из ASML, привлеченный к проекту, был удивлен, обнаружив, что его щедрый бонус за подписание контракта сопровождался удостоверением личности, выданным на фальшивое имя, по словам одного из лиц, знакомых с его вербовкой.

По словам человека, оказавшись внутри, он узнал других бывших коллег из ASML, которые также работали под псевдонимами, и ему было приказано использовать их вымышленные имена на работе для сохранения тайны. Другой человек независимо подтвердил, что новобранцам выдавали поддельные удостоверения личности, чтобы скрыть свою личность от других работников внутри безопасного помещения.

Указания были четкими, сказали два человека: в соответствии с национальной безопасностью, никто за пределами комплекса не мог знать, что они строят — или что они вообще там находятся. В состав команды входят бывшие инженеры и ученые ASML китайского происхождения — основные целевые группы для трудоустройства, поскольку они обладают конфиденциальными техническими знаниями, но сталкиваются с меньшим количеством профессиональных ограничений после увольнения из компании.

Европейские законы о конфиденциальности ограничивают возможности ASML отслеживать бывших сотрудников. Хотя сотрудники подписывают соглашения о неразглашении, их обеспечение через границы оказалось сложным.

В 2019 году ASML выиграла судебное решение о взыскании 845 миллионов долларов с бывшего китайского инженера, обвиненного в краже коммерческой тайны, но, согласно судебным документам, ответчик объявил о банкротстве и продолжает работать в Пекине при поддержке правительства Китая.

«Хотя ASML не может контролировать или ограничивать место работы бывших сотрудников, все сотрудники обязаны соблюдать положения о конфиденциальности в своих контрактах», — заявила компания, и она «успешно приняла судебные меры в ответ на кражу коммерческой тайны».

В апрельском отчете нидерландская разведка предупредила, что Китай «использовал масштабные шпионские программы в своих попытках получить передовые технологии и знания из западных стран», включая вербовку «западных ученых и сотрудников высокотехнологичных компаний».

По словам людей, ветераны ASML сделали прорыв в Шэньчжэне возможным. Без их глубоких знаний технологии обратного проектирования машин было бы практически невозможно. Их набор был частью агрессивной кампании, начатой Китаем в 2019 году для экспертов по полупроводникам, работающих за рубежом, предлагая бонусы за подписание контрактов от 3 до 5 миллионов юаней (от 420 000 до 700 000 долларов США) и субсидии на покупку жилья, согласно обзору правительственных политических документов, проведенному Reuters.

Среди новобранцев был Лин Нан, бывший руководитель отдела технологий источников света ASML, чья команда в Шанхайском институте оптики Китайской академии наук подала восемь патентов на источники света EUV за 18 месяцев, согласно патентным заявкам.

Внутри фабрики EUV

Самые современные системы EUV от ASML имеют размер примерно со школьный автобус и весят 180 тонн. После неудачных попыток воспроизвести их размер, прототип в лаборатории Шэньчжэня стал во много раз больше, чтобы улучшить свою мощность.

По словам двух источников, китайский прототип отстает от машин ASML в значительной степени потому, что исследователям было трудно получить оптические системы, подобные тем, которые выпускает немецкая компания Carl Zeiss AG, один из ключевых поставщиков ASML.

Машины излучают лазеры на расплавленное олово со скоростью 50 000 раз в секунду, генерируя плазму при температуре 200 000 градусов Цельсия. Свет фокусируется с помощью зеркал, на производство которых требуются месяцы, согласно веб-сайту Zeiss.

Чанчунский институт оптики, точной механики и физики Китайской академии наук (CIOMP) достиг прорыва в интеграции экстремального ультрафиолетового излучения в оптическую систему прототипа, что позволило ему заработать в начале 2025 года, сообщил один из источников, хотя оптика все еще нуждается в значительном усовершенствовании.

Джефф Кох, аналитик исследовательской фирмы SemiAnalysis и бывший инженер ASML, сказал, что Китай достигнет «значительного прогресса», если «источник света будет иметь достаточную мощность, будет надежным и не будет создавать слишком много загрязнения».

«Несомненно, это технически возможно, это только вопрос временных рамок», — сказал он. «Китай имеет преимущество в том, что коммерческие EUV уже существуют, поэтому они не начинают с нуля».

Рабочий стол каждого сотрудника снимается отдельной камерой, чтобы задокументировать их усилия по разборке и повторной сборке деталей — работу, которую эти люди называют ключевой для литографических усилий Китая.

Хотя проект EUV управляется правительством Китая, Huawei участвует в каждом этапе цепочки поставок, от разработки чипов и оборудования для производства до производства и окончательной интеграции в такие продукты, как смартфоны, сообщают четыре источника, знакомые с деятельностью Huawei.

США внесли Huawei в список юридических лиц в 2019 году, запретив американским компаниям вести с ними бизнес без лицензии.

Для этого Huawei развернула сотрудников в офисах, на производственных заводах и в исследовательских центрах по всей стране. По словам источников, сотрудники, назначенные в команды по производству полупроводников, часто спят на месте и не имеют права возвращаться домой в течение рабочей недели, а доступ к телефонам ограничен для команд, выполняющих более конфиденциальные задачи.

Внутри Huawei мало кто из сотрудников знает об объеме этой работы. Команды изолированы друг от друга, чтобы защитить конфиденциальность проекта. Они не знают, над чем работают другие команды.